等離子清洗機對薄膜材料表面的刻蝕作用和在材料表面引進大量極性基團這二種因素共同作用使得處理后的薄膜材料表面的粘接性、印刷等性能得到大幅度的提高。...
2024-03-21等離子刻蝕的基本原理是利用所需的等離子體對晶圓表面進行物理轟擊并且同時發(fā)生產(chǎn)生易于揮發(fā)的化學反應(yīng),從而實現(xiàn)對晶圓的刻蝕過程。...
2024-03-18氧等離子體處理親水原理可以認為是受兩個因素的雙重影響:(1)氧等離子體對材料表面的蝕刻效應(yīng)造成了材料表面形貌在納米尺度的改變;(2)氧等離子體處理后在材料表面引入了新的基團,例如-OH、-COOH等親水基團。需注意的是通過氧等離子體轟擊進行的親水處理一般具有時效性。...
2024-03-14等離子清洗技術(shù)是一種高效的清洗方法,激發(fā)態(tài)的氫氣與氧化物發(fā)生化學反應(yīng),將氧化無還原為單質(zhì)和水蒸氣,可以很有效的去處表面氧化物。 ...
2024-03-14在整個大規(guī)模集成電路制造過程中,近三分之一的工序是借助于等離子體技術(shù)來完成,在大規(guī)模集成電路制造的主要流程中,薄膜沉積、刻蝕、離子注入與清洗等過程都需要等離子體技術(shù)來輔助完成。...
2024-02-23綜述了近年來研究者對材料表面常用的處理方法,主要包括物理法、機械法以及化學法的研究進展,介紹了表征材料表面結(jié)構(gòu),化學組成以及表面形貌常用的分析方法。通過對材料表面進行處理從而達到提高粘接性能的目的。...
2024-02-21有研究報道,通過氧等離子體處理可以獲得溶液法制備的高質(zhì)量的SnO2薄膜。表明具有高能離子態(tài)的氧自由基團能夠?qū)Ρ∧ぶ械难跞毕輵B(tài)起到一定填充作用。將這一工藝用于制備ZrO2介電層,可以在對介電薄膜有最小損傷的同時提高基于ZrO2的TFT的電學性能。另外,ZrO2具有較高的與氧結(jié)合能,也有利于氧相關(guān)表面缺陷的鈍化。...
2024-02-01在封裝工藝過程中,引線框架容易被氧化,在表面形成包含氧化銅和氧化亞銅的氧化層,其結(jié)構(gòu)較為疏松,這將不利于引線框架與塑封體的結(jié)合,在行業(yè)內(nèi)通常采用等離子清洗的方式去除引線框架表面的氧化層。...
2024-01-22隨著等離子清洗技術(shù)的不斷進步與廣泛應(yīng)用,其等離子體產(chǎn)生方式也從直流輝光放電產(chǎn)生等離了體發(fā)展到射頻激發(fā)等離子體,微波等離子體,脈沖等離子體清洗等。...
2024-01-18微波等離子是由工作頻率為2.45GHz的微波激發(fā)工藝氣體放電,在正負極磁場作用下的諧振腔體內(nèi)產(chǎn)生等離子體,該諧振腔體位于反應(yīng)倉體旁邊,磁控管連接微波發(fā)生器,因為整個放電過程不需要正負電極,所以產(chǎn)生自偏壓極小,從根本上避免了靜電放電損傷。...
2024-01-10等離子清洗的效果會優(yōu)于電暈的效果,處理均勻性方面等離子清洗也優(yōu)于電暈處理,從產(chǎn)品形狀方面考慮,等離子清洗對產(chǎn)品形狀沒有限制,電暈處理適合薄膜卷料產(chǎn)品。...
2023-12-29等離子體清洗機主要具有以下四大作用;1、表面清洗作用2、表面刻蝕作用3、表面活化作用4、表面接枝聚合作用。等離子在進行清洗去污的同時,還能改變材料本身的表面性能,如潤濕性,粘附性等。...
2023-12-27