設(shè)備類型 | 真空等離子清洗機(jī) | 大氣等離子清洗機(jī) |
外觀 | 等離子體在真空腔體內(nèi)產(chǎn)生,需要使用真空泵維持特定真空度 | 等離子體產(chǎn)生后噴出,直徑與筆相當(dāng);可排成陣列或以馬達(dá)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn) |
生產(chǎn)方式 | 批次式,亦可做成連續(xù)式 但成本大幅提高 | 連續(xù)式,通常與滑臺(tái)或機(jī)械手臂搭配使用 |
使用氣體 | 任何氣體都可以 | N2、O2、air 為主,可混入其他氣體,但需 注意廢氣處理問題 |
氣體用量 | <1L/min | 約 10-30L/min |
等離子體有效范圍 | 等離子體由電極產(chǎn)生,充滿整個(gè)腔體 | 等離子體在電極間產(chǎn)生后被氣流帶出,有效范圍 2~80mm |
靜電問題 | 沒有靜電損傷問題 | 噴嘴經(jīng)特殊設(shè)計(jì)后沒有靜電擊傷問題 |
適合材料 | 無限制 | 無限制 |
工件尺寸 | 中小尺寸, 尺寸愈大,真空腔體就愈 大,設(shè)備造價(jià)將大幅提高 | 無限制 |
時(shí)效性 | 與常壓相比時(shí)效性較長(zhǎng) | 較真空時(shí)效短 |