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等離子體射流放電

等離子體射流放電的裝置結(jié)構(gòu)如圖1-1所示。當(dāng)交流高壓電源以幾kHz，數(shù)kV輸出時，在棒狀電極末端，距離金屬噴嘴最近的地方易形成極高電場，出現(xiàn)尖端放電；工作氣體在這個區(qū)域被交流高壓電源充分電離，產(chǎn)生等離子體；并隨著工作氣體的不斷涌入，等離子體被吹出噴嘴，形成一段距離有限且發(fā)光的等離子體射流，伴隨嘶嘶聲。

圖1-1 等離子體射流放電

為了防止在筒狀外殼內(nèi)部出現(xiàn)電弧放電，等離子體射流放電的氣體壓力一般控制在一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓以上，使等離子體被迅速吹出，不足以積累成電?。煌瑫r氣體壓力也不能過高，否則電離的等離子體無法形成等離子體射流。

等離子體射流放電實(shí)現(xiàn)放電空間與使用空間的隔絕，即在腔體內(nèi)部放電電離，而在腔體外部形成射流用于處理材料。這種結(jié)構(gòu)保證安全性，也極大方便了實(shí)際使用，通過改變噴嘴的結(jié)構(gòu)，可以形成陣列等離子體射流、旋轉(zhuǎn)等離子體射流等形式。

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等離子體射流放電