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等離子體射流放電的裝置結(jié)構(gòu)如圖1-1所示。當(dāng)交流高壓電源以幾kHz,數(shù)kV輸出時,在棒狀電極末端,距離金屬噴嘴最近的地方易形成極高電場,出現(xiàn)尖端放電;工作氣體在這個區(qū)域被交流高壓電源充分電離,產(chǎn)生等離子體;并隨著工作氣體的不斷涌入,等離子體被吹出噴嘴,形成一段距離有限且發(fā)光的等離子體射流,伴隨嘶嘶聲。
圖1-1 等離子體射流放電
為了防止在筒狀外殼內(nèi)部出現(xiàn)電弧放電,等離子體射流放電的氣體壓力一般控制在一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓以上,使等離子體被迅速吹出,不足以積累成電?。煌瑫r氣體壓力也不能過高,否則電離的等離子體無法形成等離子體射流。
等離子體射流放電實(shí)現(xiàn)放電空間與使用空間的隔絕,即在腔體內(nèi)部放電電離,而在腔體外部形成射流用于處理材料。這種結(jié)構(gòu)保證安全性,也極大方便了實(shí)際使用,通過改變噴嘴的結(jié)構(gòu),可以形成陣列等離子體射流、旋轉(zhuǎn)等離子體射流等形式。
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