三
除了去除不銹鋼表面油污與氧化物獲得潔凈的表面外,經(jīng)等離子體處理后還能控制材料表面性質(zhì),以提高其耐磨、耐腐、黏附等性能,這在許多應(yīng)用中起到了重要的作用。
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工業(yè)鋰電池藍(lán)膜處理一般都采用常壓等離子處理的方式，常壓等離子處理不僅能解決PET藍(lán)膜的粘接力問(wèn)題，還能實(shí)現(xiàn)在線(xiàn)生產(chǎn)，因此特別適合工業(yè)大批量生產(chǎn)使用。
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低溫等離子體清洗處理技術(shù)作為一項(xiàng)新興的表面處理技術(shù)，不僅具有環(huán)保、節(jié)能的優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)具有處理效率高、處理效果好和對(duì)材料力學(xué)性能影響小的特點(diǎn)，其通過(guò)放電裝置將電離的等離子體中的電子或離子打到瓶子表面，使瓶子表面自由能提高，達(dá)到改善絲印性能的目的。
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等離子體表面處理的光纜電纜護(hù)套，表面材料性能得到改善，可以提高了光纜電纜表面材料與噴碼油墨的粘附力和相互滲透力，增強(qiáng)了光纜表面標(biāo)志耐磨損性能。
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氧等離子體處理一方面可使ITO薄膜表面進(jìn)一步氧化,增大其功函數(shù),從而減小由ITO向OLED的空穴傳輸層注入空穴所需克服的勢(shì)壘;另一方面,該處理還對(duì)ITO薄膜表面的潤(rùn)濕性能有所改善,提高有機(jī)材料在ITO薄膜上的成膜性能
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在等離子體轟擊固化的PDMS表面可以使其表面親水性增強(qiáng)，經(jīng)氧等離子體轟擊過(guò)的PDMS表面形成大量Si-OH基團(tuán)。玻璃在氧等離子體轟擊后Si-O鍵被打斷，從而形成大量的Si懸掛鍵，吸收空氣中的-OH，形成了Si-OH基團(tuán)。將氧等離子體轟擊過(guò)的PDMS與玻璃貼合后，各自表面形成的Si-OH基團(tuán)會(huì)脫水形成Si-O-Si鍵，使得玻璃與PDMS形成永久鍵合。
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等離子體改性過(guò)程中，高能量的粒子沖擊玻璃表面，使材料表面部分化學(xué)鍵斷裂，在玻璃表面生成許多自由基，而氧氣則與表層自由基反應(yīng)生成活性官能團(tuán)，提高玻璃表面能，潤(rùn)濕性提高。
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等離子體清洗不但可以清洗晶圓表面，還可以提高表面活性，提高材料表面粘接能力，提高焊接能力，親水性等，優(yōu)勢(shì)十分明顯，因此等離子清洗在納米壓印行業(yè)中應(yīng)用前景極其廣泛。
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芯片通過(guò)等離子清洗機(jī)清洗可以有效清除被清洗表面污染物、改善表面狀態(tài)、增加材料的粘附性能、提高材料表面的浸潤(rùn)性能，明顯改善芯片粘接質(zhì)量和金絲鍵合質(zhì)量。
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